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垂直型存储器件制造技术
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文档序号:24174328
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一种垂直型存储器件包括:多个栅电极,堆叠在衬底上;和垂直沟道结构,沿垂直于衬底的上表面的第一方向穿透所述多个栅电极。垂直沟道结构包括:沿第一方向延伸的沟道;第一填充膜,部分地填充沟道的内部空间;第一衬层,在第一填充膜的上表面的至少一部分上并...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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