下载垂直型存储器件的技术资料

文档序号:24174328

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种垂直型存储器件包括:多个栅电极,堆叠在衬底上;和垂直沟道结构,沿垂直于衬底的上表面的第一方向穿透所述多个栅电极。垂直沟道结构包括:沿第一方向延伸的沟道;第一填充膜,部分地填充沟道的内部空间;第一衬层,在第一填充膜的上表面的至少一部分上并...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。