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本发明提供一种喷淋装置及清洗设备，该喷淋装置包括第一喷嘴，该第一喷嘴包括：进液通道，用于输送清洗液体；雾化结构，与进液通道的出液端连接，用于将自进液通道流出的液体雾化形成液滴；进气通道，用于输送气体；以及喷气结构，与进气通道的出气端连接，用...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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