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本发明公开一种检测阶梯结构偏移的方法，包含：在衬底的第一侧形成第一凹槽；形成堆叠层于衬底上，其中堆叠层包含交错叠置的多个第一绝缘层和多个第二绝缘层；通过多次修整‑蚀刻工艺使堆叠层形成阶梯结构，其包含最靠近衬底的第一台阶；测量第一凹槽与第一台...
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