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本发明提出了的一种晶圆级封装方法及晶圆级封装结构,方法包括:提供器件晶圆,器件晶圆具有器件区,器件区包括有效功能区和包围有效功能区的外围区;在器件晶圆的外围区形成支撑层;提供盖帽晶圆,盖帽晶圆具有有效区和无效区;对盖帽晶圆进行第一处理,在有...该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯集成电路(宁波)有限公司授权不得商用。
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本发明提出了的一种晶圆级封装方法及晶圆级封装结构,方法包括:提供器件晶圆,器件晶圆具有器件区,器件区包括有效功能区和包围有效功能区的外围区;在器件晶圆的外围区形成支撑层;提供盖帽晶圆,盖帽晶圆具有有效区和无效区;对盖帽晶圆进行第一处理,在有...