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本申请涉及半导体设备的反应腔冷却装置。该装置包括：反应腔冷却装置包括液槽、液道隔板和挡液条：所述液槽包括液槽底板和液槽侧板；所述反应腔置于所述液槽中，且所述液槽用于容纳冷却液；所述液槽侧板分立于所述液槽底板的左右两侧；所述挡液条分立于所述液...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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