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一种靶材组件及其制造方法,制造方法包括:提供靶材和背板,所述靶材具有靶材焊接面,所述背板具有背板焊接面;在所述靶材焊接面或所述背板焊接面上形成螺纹;形成所述螺纹后,将所述靶材焊接面与所述背板焊接面相贴合设置形成初始组件;对所述初始组件进行焊...该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。
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