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中国科学院微电子研究所
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竖直型半导体器件制造技术
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下载竖直型半导体器件的技术资料
文档序号:24146847
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公开了一种竖直型半导体器件。根据实施例,半导体器件可以包括:衬底;依次叠置在衬底上的第一源/漏层、沟道层和第二源/漏层;以及绕沟道层的外周形成的栅堆叠。沟道层包括第一半导体材料层和绕第一半导体材料层外周形成的第二半导体材料层。分别在第一源/...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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