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本实用新型公开了一种腔室盖板，属于半导体制造技术领域，包括：板体，图像采集装置，用于采集真空传送腔室中卡盘的图像信息；显示装置，连接图像采集装置；上述技术方案有益效果是：通过在盖板朝向腔室的一面加装图像采集装置，使得操作人员不必再单纯依赖盖...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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