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一种在带电粒子束检查系统中使用的光学系统。光学系统包括一个或多个光学透镜和补偿透镜，补偿透镜被配置为对一个或多个光学透镜的组合的焦距从第一介质到第二介质的漂移进行补偿。...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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