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提供一种空气流控制装置及一种洁净室。气流控制装置具有一个高效颗粒过滤器、一个具有底面中心孔的外盖，以及一个流向控制器，该控制器具有一根穿透所述孔的轴，并位于颗粒过滤器和外盖之间。洁净室具有安装在一个进口内的上述气流控制装置。因此，由于被引入...
该专利属于三星电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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