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包括通孔的集成电路器件及其形成方法技术
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下载包括通孔的集成电路器件及其形成方法的技术资料
文档序号:24127378
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提供了集成电路器件及其形成方法。形成集成电路器件的方法可以包括:在衬底上形成第一绝缘层和第一导电层,并在第一绝缘层上选择性地形成第二绝缘层。第一绝缘层可以包括凹部,且第一导电层可以在第一绝缘层的凹部中。第二绝缘层可以包括暴露第一导电层的表面...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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