温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种线圈组件及半导体设备，线圈组件包括：多组感应线圈，多组感应线圈之间并联连接，且多组感应线圈呈放射状分布。有效避免线圈组件扩大线圈组件覆盖范围时出现驻波，有效保证采用线圈组件的半导体设备大面积均匀等离子体的产生。...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。