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一种用于扫描探头中的探针位置测量的感应式位置检测器(IPD)包括在探针中沿中心轴线定位的两个基板，它们之间具有运动体积，其每一个包括N个旋转感测线圈(RSCs)和相应的轴向感测线圈配置(ASCC)。探针联接的导电扰动器在运动体积中沿Z(轴向...
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