温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
一种用于将物场(4)成像至像场(8)的成像光学单元(7)。在此处，多个反射镜(M1至M10)用以沿成像光束路径引导成像光(3)。多个反射镜(M1至M10)包含用于掠入射的数个反射镜(GI反射镜)(M2至M8)，其偏转具有大于45°的入射角的...该专利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司SMT有限责任公司授权不得商用。
温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
一种用于将物场(4)成像至像场(8)的成像光学单元(7)。在此处，多个反射镜(M1至M10)用以沿成像光束路径引导成像光(3)。多个反射镜(M1至M10)包含用于掠入射的数个反射镜(GI反射镜)(M2至M8)，其偏转具有大于45°的入射角的...