下载集成芯片以及形成集成芯片的方法的技术资料

文档序号:24098910

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在一些实施例中,本公开涉及集成芯片。集成芯片包括设置在衬底上的介电结构。多个导电互连层设置在介电结构内。多个导电互连层包括互连线和互连通孔的交替层。金属‑绝缘体‑金属(MIM)电容器配置在介电结构内。MIM电容器具有通过电容器介电结构与上导...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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