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第一栅极结构、第二栅极结构和第三栅极结构的每个在第一方向上延伸。第一栅极通孔设置在第一栅极结构上。第一栅极通孔具有第一尺寸。第二栅极通孔设置在第二栅极结构上。第二栅极通孔具有大于第一尺寸的第二尺寸。第三栅极通孔设置在第三栅极结构上。第三栅极...
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