下载晶片的扩展方法和晶片的扩展装置的技术资料

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提供晶片的扩展方法和晶片的扩展装置,将器件彼此的长边方向间隔和短边方向间隔均等地扩展。该方法将在由多条分割预定线划分的多个区域内分别形成有长方形的器件的晶片扩展,将相邻的器件间的间隔扩大,该方法包含:治具准备工序,准备具有椭圆开口部的环状治...
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