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本发明是一种电磁式晶元刷洗机刷洗压力控制系统，其结构包括摆动轴和安装在摆动轴顶端的刷臂，刷臂传动连接刷洗本体，刷洗本体下方为真空吸盘，真空吸盘底面连接旋转马达活动端，真空吸盘顶面上放置晶元，控制器分别与刷臂、刷洗本体及旋转马达信号连接。本发...
该专利属于吉姆西半导体科技(无锡)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉姆西半导体科技(无锡)有限公司授权不得商用。

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