下载一种等间距芯片阵列巨量转移的对位装置及方法的技术资料

文档序号:24098596

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本发明涉及一种等间距芯片阵列巨量转移的对位装置及方法,所述等间距芯片阵列巨量转移的对位装置包括:框架(1)、焊盘升降对位机构(2)、薄膜拉伸对位机构(3)和横向移动顶针机构(4);焊盘升降对位机构(2)通过水平横向移动和竖直移动调整焊盘的位...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。

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