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本发明提供了一种排气系统及半导体设备，包括排气管道及若干管道连接件，所述管道连接件具有与所述排气管道连通的接头本体，所述接头本体的至少一段管壁上设置有呈环状排布的若干气体喷射孔道，所述气体喷射孔道用于接收惰性气体并将所述惰性气体喷射至所述接...
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