下载LDMOS器件及提升其热载流子注入效应寿命的方法的技术资料

文档序号:24098452

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本发明实施例提出一种提升LDMOS器件的热载流子注入效应寿命的方法,所述方法包括:提供衬底,所述衬底中形成有LDMOS器件的漏极掺杂区,所述漏极掺杂区平行于导电沟道的长度方向的至少一侧形成有浅沟槽隔离结构,所述漏极掺杂区的掺杂类型为第一导电...
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