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本实用新型提供一种用于大尺寸晶圆厚度检测平台，包括大理石基座；大理石基座上安装有一对平行设置的Y向大理石导轨和Y向大理石导轨，Y向大理石导轨和Y向大理石导轨上分别设置有Y向滑块和Y向滑块，外侧面均设置有Y向电机定子连接件和Y向电机定子连接件...
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