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本发明实施例是有关改善曝光性能的方法及设备。提出一种操作照明器的方法及设备。一种方法包含：将辐射光束引导到包括狭缝指形件的所述照明器；感测所述狭缝指形件中的每一个的温度值；基于所述温度值确定所述相应狭缝指形件的偏移值；使所述相应狭缝指形件根...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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