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中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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一种无损检测导电氧化物薄膜电学性能的方法技术
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文档序号:24085612
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本发明的目的在于提供一种快速、无损检测导电氧化物薄膜电学性能的方法,首先利用激光拉曼(Raman)光谱仪测定导电氧化物薄膜的特定光谱,将特定光谱进行定量,定量方法可对拉曼的E...
该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。
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