温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种共享干泵系统的控制方法，共享干泵系统包括干泵和多个具有工艺腔的设备模块，多个设备模块包括至少一个第一设备模块和至少一个第二设备模块，第一设备模块还包括冷泵，控制方法包括：确定多个设备模块的优先级；接收到申请使用干泵的多个申请信...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。