【技术实现步骤摘要】
共享干泵系统的控制方法以及共享干泵系统
本专利技术涉及半导体加工
，具体涉及一种共享干泵系统的控制方法以及执行所述控制方法的共享干泵系统。
技术介绍
对于半导体设备而言，工艺腔室和传输腔室都有严格的真空度要求，通常情况下所述工艺腔室内部压强要达到10-8Torr，而传输腔室的内部压强也要达到10-7Torr。为了实现高真空且节约设备成本，通常情况下，所述半导体设备中多个工艺腔室共用了一个干泵，如图1所示，以AlpadPVD设备为例：多个第一工艺腔室1'、多个第二工艺腔室2'和以及该第二工艺腔室2'连接的冷泵共用一个干泵，由设备控制软件提供相关机制来解决多个工艺腔室使用干泵的协调问题。现有技术中，结构类似于上述AlpadPVD设备的共享干泵系统中，所有干泵的使用模块(即各个工艺腔室)拥有相同的优先级，在干泵的使用上严格按照“先到先得”的原则，但是在实际生产过程中，所述“先到先得”的运行机制不能很好地满足用户需求，例如，第一工艺腔室(例如，冷却腔室PsA)在工艺过程中申请使用所述干泵，若不能够及时地...
【技术保护点】
1.一种共享干泵系统的控制方法，所述共享干泵系统包括干泵和多个具有工艺腔的设备模块，多个所述设备模块包括至少一个第一设备模块和至少一个第二设备模块，所述第一设备模块还包括冷泵，其特征在于，所述控制方法包括：/n确定多个所述设备模块的优先级；/n接收到申请使用所述干泵的多个申请信号后，根据所述优先级以及接收到各个申请信号的时间对发送所述申请信号的多个设备模块使用所述干泵的次序进行排序；/n所述控制方法还包括在工艺阶段进行的以下步骤：/n当当前使用次序的设备模块为第一设备模块时，控制可控阀处于开启状态，以使得所述干泵的抽气口与相应的冷泵的出气口通过开启状态的可控阀连通，并控制所...
【技术特征摘要】
1.一种共享干泵系统的控制方法，所述共享干泵系统包括干泵和多个具有工艺腔的设备模块，多个所述设备模块包括至少一个第一设备模块和至少一个第二设备模块，所述第一设备模块还包括冷泵，其特征在于，所述控制方法包括：
确定多个所述设备模块的优先级；
接收到申请使用所述干泵的多个申请信号后，根据所述优先级以及接收到各个申请信号的时间对发送所述申请信号的多个设备模块使用所述干泵的次序进行排序；
所述控制方法还包括在工艺阶段进行的以下步骤：
当当前使用次序的设备模块为第一设备模块时，控制可控阀处于开启状态，以使得所述干泵的抽气口与相应的冷泵的出气口通过开启状态的可控阀连通，并控制所述干泵对相应的冷泵抽真空，
当当前使用次序的设备模块为第二设备模块时，控制所述可控阀处于关闭状态，以使得所述干泵的抽气口与所有冷泵的出气口断开，并控制所述干泵对相应的第二设备模块的工艺腔进行抽真空。
2.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，根据所述优先级以及接收到各个申请信号的时间对发送所述申请信号的多个设备模块使用所述干泵的次序进行排序包括：
当发出申请信号的多个所述设备模块优先级相同时，按照接收到所述申请信号的时间顺序，对发送所述申请信号的多个所述设备模块使用所述干泵的次序进行排序；
当发出申请信号的多个所述设备模块优先级不同时，按照所述设备模块的优先级，对发送所述申请信号的多个所述设备模块使用所述干泵的次序进行排序。
3.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述第一设备模块中的至少一个的工艺腔为外延生长腔室，所述第二设备模块中的至少一个的工艺腔为冷却腔室，包括所述冷却腔室的第二设备模块的优先级高于包括外延生长腔室的第一设备模块的优先级。
4.根据权利要求1至3中任意一项所述的控制方法，其特征在于，所述控制方法还包括在初始化阶段进行的以下步骤：
控制所述可控阀处于关闭状态，以使得所述干泵的抽气口与所有冷泵的出气口断开，并控制所述干泵同时对所有设备模块的工艺腔抽真空，其中，
所述初始化阶段在所述工艺阶段之前进行。
5.一种共享干泵系统，所述共享干泵系统包括干泵、控制模块和多个具有工艺腔的设备模块，多个所述设备模块包括至少一个第一设备模块和至少一个第二设备模块，所述第一设备模块还包括冷泵，其特征在于，
所述共享干泵系统还包括可控阀，所述可控阀的入口与所述冷泵的出气口连通，所述可控阀的出口与所述干泵的抽气口连通，所述控制模块包括：
优先级确定单元，用于确定多个所述设备模块的优先级；
排序单元，用于接收到申请使用所述干泵的多个申请信号后，...
【专利技术属性】
技术研发人员：张璐，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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