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本发明公开了一种工件储存运输装置,包括储存机构、运输机构和超声波系统,其中,储存机构包括保护容器和容纳在保护容器中的清洗槽,清洗槽的顶部包括用于放置待运输工件的开口;运输机构包括水平设置的载物板,保护容器以可拆卸的方式固定在载物板上;超声波...该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种工件储存运输装置,包括储存机构、运输机构和超声波系统,其中,储存机构包括保护容器和容纳在保护容器中的清洗槽,清洗槽的顶部包括用于放置待运输工件的开口;运输机构包括水平设置的载物板,保护容器以可拆卸的方式固定在载物板上;超声波...