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本实用新型提供一种单片集成的射频器件及集成电路系统,射频器件包括键合连接的滤波器与电子器件;电子器件的第一缓冲层设置在第一基板上,第三单晶层远离第二单晶层的一侧设置有钝化层,钝化层上设置有连接滤波器与电子器件的通孔;滤波器的金属电极设置在压...该专利属于广州市艾佛光通科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广州市艾佛光通科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种单片集成的射频器件及集成电路系统,射频器件包括键合连接的滤波器与电子器件;电子器件的第一缓冲层设置在第一基板上,第三单晶层远离第二单晶层的一侧设置有钝化层,钝化层上设置有连接滤波器与电子器件的通孔;滤波器的金属电极设置在压...