下载一种电压可调的双向ESD保护器件的技术资料

文档序号:24057331

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本实用新型公开一种电压可调的双向ESD保护器件,包括N型衬底,N型衬底上生长有第一次P型外延层,第一次P型外延层注入扩散形成的P型势垒阻挡层,P型势垒阻挡层上生长的第二次P型外延层,第二次P型外延层表面注入扩散形成的N+掺杂层,隔离槽贯穿N...
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