下载减少半导体器件中的带到带隧穿的技术资料

文档序号:24044082

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公开了集成电路晶体管结构,其减少在晶体管的沟道区与源极/漏极区之间的带到带隧穿,而没有不利地增大器件的非本征电阻。在示例性实施例中,所述结构包括一个或多个间隔物,所述间隔物被配置成将源极和/或漏极与沟道区分离。所述(多个)间隔物的区包括如下...
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