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公开了使用定向自组装制造受良好地控制的纳米孔的方法和使用选择性蚀刻制造自支撑膜的方法。一方面，通过与嵌段共聚物的定向自组装以缩小特征的临界尺寸来形成一个或多个纳米孔，所述特征然后被转移到薄膜上。另一方面，一种方法包括：提供基板，所述基板在其...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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