温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明加热板(11)，将在上表面(11a)上滑行的基板(75)的下侧进行加热；以及加热模块(20)，将加热板(11)进行加热。加热模块(20)具备空气加热流路(25)，将从底面(13b)侧流入的空气加热而从加热板(11)侧流出；加热板(11...
该专利属于株式会社新川所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社新川授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。