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保护膜形成用复合片及半导体芯片的制造方法技术
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文档序号:24042885
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本发明为一种保护膜形成用复合片,其含有支撑片与设置在该支撑片上的能量射线固化性的保护膜形成用膜,所述保护膜形成用复合片中,该保护膜形成用膜含有能量射线固化性成分(a0)及非能量射线固化性聚合物(b),该支撑片的与该保护膜形成用膜接触的层含有...
该专利属于琳得科株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过琳得科株式会社授权不得商用。
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