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包括功能层的半导体器件及其制造方法技术
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下载包括功能层的半导体器件及其制造方法的技术资料
文档序号:24039101
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一种半导体器件,包括:基板;有源区,设置在基板上并沿第一方向延伸;与有源区相邻的器件隔离层;设置在有源区中的栅极结构,该栅极结构沿与第一方向交叉的第二方向延伸并覆盖器件隔离层的一部分;栅极分离图案,接触栅极结构的端部;以及杂质区,设置在栅极...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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