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本发明涉及一种温补层结构,包括温补层,所述温补层的端部的上侧为斜面以使得温补层的端部为楔形端面,温补层的端部的上侧与温补层的底侧之间形成的角度小于60°;覆盖在温补层上方的上种子层,其中:所述上种子层的至少一端具有延伸到温补层的外侧的延伸部...该专利属于诺思(天津)微系统有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过诺思(天津)微系统有限责任公司授权不得商用。
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本发明涉及一种温补层结构,包括温补层,所述温补层的端部的上侧为斜面以使得温补层的端部为楔形端面,温补层的端部的上侧与温补层的底侧之间形成的角度小于60°;覆盖在温补层上方的上种子层,其中:所述上种子层的至少一端具有延伸到温补层的外侧的延伸部...