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本发明涉及超精密加工的技术领域，更具体地，涉及一种超声电化学复合的晶片清洗装置及其清洗方法，包括壳体、晶片装夹组件、电化学清洗组件、超声组件以及驱动组件，晶片装夹组件与驱动组件连接，晶片装夹组件包括用于放置晶片的片槽以及安装于片槽两端的转轴...
该专利属于广东工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过广东工业大学授权不得商用。

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