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在本发明提供了一种源漏电阻测试方法，通过形成第一测试结构和测试结构，得到所述第一测试结构的第一电阻，得到所述第二测试结构的第二电阻，以及得到所述第一测试结构的第一沟道长度和所述第二测试结构的第二沟道长度。进而形成拟合曲线，所述拟合曲线包括与...
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