下载一种硅圆晶精加工抛光设备的技术资料

文档序号:24004042

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本实用新型属于抛光设备技术领域,尤其为一种硅圆晶精加工抛光设备,包括抛光台,所述抛光台的边缘处焊接有支撑板,所述支撑板的上端通过螺栓固定有液压气缸,所述液压气缸的输出轴固定连接有抛光电机,所述抛光电机的输出轴固定连接有偏心抛光轮,所述抛光台...
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