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本发明提供了一种静电吸盘的防腐蚀方法，其为防止活性自由基对静电吸盘的腐蚀，所述方法为于静电吸盘上的通道中通入惰性气体。本发明还提供了一种等离子体处理装置的腔室清洁方法。本发明提供的方法能够有效解决静电吸盘的黏着层易被高活性自由基腐蚀的问题，...
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