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一种单晶生长设备,包括反应腔室(106)、上盖(110)、上开盖组件(111)、下盖(113)和下开盖组件(114),上盖(110)和下盖(113)分别可开闭地设于反应腔室(106)的顶部和底部,分别用于密封反应腔室(106)的顶部开口和底...该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。
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一种单晶生长设备,包括反应腔室(106)、上盖(110)、上开盖组件(111)、下盖(113)和下开盖组件(114),上盖(110)和下盖(113)分别可开闭地设于反应腔室(106)的顶部和底部,分别用于密封反应腔室(106)的顶部开口和底...