下载单晶生长设备的技术资料

文档序号:23974785

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种单晶生长设备,包括反应腔室(106)、上盖(110)、上开盖组件(111)、下盖(113)和下开盖组件(114),上盖(110)和下盖(113)分别可开闭地设于反应腔室(106)的顶部和底部,分别用于密封反应腔室(106)的顶部开口和底...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。