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一种用于光栅尺刻写的大尺寸激光直写运动台，包括：激光刻写仪器，用于在待刻写玻璃刻写光栅尺；X轴粗动直线轴，用于光栅尺刻写时，使玻璃在X轴方向上做扫描运动；RZ微动旋转轴，安装于X轴粗动直线轴上，用于对X轴粗动直线轴运动产生的误差进行补偿；Y...
该专利属于无锡星微科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡星微科技有限公司授权不得商用。

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