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本发明公开了一种具有双层结构的无源器件及制作方法,其中制作方法包括如下步骤:在晶圆上制作电阻;涂布桥墩光阻,在待制作电感的桥墩处进行显影,待制作电感位于电阻的上方,桥墩处与电阻具有间隙;在桥墩处制作桥墩,桥墩用于支撑待制作电感;涂布桥面光阻...该专利属于福建省福联集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建省福联集成电路有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种具有双层结构的无源器件及制作方法,其中制作方法包括如下步骤:在晶圆上制作电阻;涂布桥墩光阻,在待制作电感的桥墩处进行显影,待制作电感位于电阻的上方,桥墩处与电阻具有间隙;在桥墩处制作桥墩,桥墩用于支撑待制作电感;涂布桥面光阻...