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一种太赫兹超材料癌症标志物蛋白传感器的制备方法，包括以下步骤：步骤1、在硅衬底上生长派瑞林C型薄膜作为柔性衬底；步骤2、将步骤1得到的产品清洗干净，在其上旋涂光刻胶并烘干；步骤3、用设计好的超材料掩模版对光刻胶进行曝光，并显影，得到光刻胶掩...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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