基于Parylene-C的癌症标志物蛋白生物传感器及相关方法技术

一种太赫兹超材料癌症标志物蛋白传感器的制备方法，包括以下步骤：步骤1、在硅衬底上生长派瑞林C型薄膜作为柔性衬底；步骤2、将步骤1得到的产品清洗干净，在其上旋涂光刻胶并烘干；步骤3、用设计好的超材料掩模版对光刻胶进行曝光，并显影，得到光刻胶掩模；步骤4、用热蒸发方法在步骤3得到的产品上生长黏附层和金膜；步骤5、将步骤4得到的产品放入丙酮浸泡剥离，形成所需要的超材料金结构；步骤6、在去离子水中分离柔性衬底和硅衬底。本发明专利技术由于采用低折射率的超薄衬底，提高了灵敏度，减少了信号损失。并且从修饰方法上利用了Parylene‑C膜的吸附能力简化了修饰测试流程，减少测试数据，提高了传感器灵敏度。

Cancer marker protein biosensor based on Parylene-C and related methods

【技术实现步骤摘要】
基于Parylene-C的癌症标志物蛋白生物传感器及相关方法
本专利技术涉及太赫兹超材料生物传感
，特别是涉及一种基于派瑞林C型(Parylene-C)膜的太赫兹超材料癌症标志物蛋白生物传感器及相关方法。
技术介绍
太赫兹波段位于红外和微波之间，是电子学和光子学的过渡领域，很多生物大分子振动能级位于太赫兹波段。近年来，由于纳米加工技术和太赫兹光谱学的发展，太赫兹领域的研究也逐渐兴起。其中，太赫兹超材料是其中的主要研究方向，太赫兹超材料的共振峰会随着表面环境的变换而产生频移，因此可以通过在其表面进行生物修饰引起频移，从而进行生物传感。基于太赫兹超材料的生物传感器以其无损害样品，无需标记等优点，逐渐成为太赫兹领域研究的一个重要课题。但目前大多数太赫兹超材料生物传感器都是基于刚性衬底的，大大限制了传感器的应用范围。并且刚性衬底伴有严重的信号损耗和回波反射，因此目前的太赫兹超材料传感器灵敏度较低，限制了实际应用。另一方面，基于共价键结合的表面生物修饰方法步骤繁琐，耗时较长，修饰效率较低，因此修饰和测试耗时较长。
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种太赫兹超材料癌症标志物蛋白传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：/n步骤1、在硅衬底上生长派瑞林C型薄膜作为柔性衬底；/n步骤2、将步骤1得到的产品清洗干净，在其上旋涂光刻胶并烘干；/n步骤3、用设计好的超材料掩模版对光刻胶进行曝光，并显影，得到光刻胶掩模；/n步骤4、用热蒸发方法在步骤3得到的产品上生长黏附层和金膜；/n步骤5、将步骤4得到的产品放入丙酮浸泡剥离，形成所需要的超材料金结构；/n步骤6、在去离子水中分离柔性衬底和硅衬底，制备得到所述太赫兹超材料癌症标志物蛋白传感器。/n

【技术特征摘要】
1.一种太赫兹超材料癌症标志物蛋白传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1、在硅衬底上生长派瑞林C型薄膜作为柔性衬底；
步骤2、将步骤1得到的产品清洗干净，在其上旋涂光刻胶并烘干；
步骤3、用设计好的超材料掩模版对光刻胶进行曝光，并显影，得到光刻胶掩模；
步骤4、用热蒸发方法在步骤3得到的产品上生长黏附层和金膜；
步骤5、将步骤4得到的产品放入丙酮浸泡剥离，形成所需要的超材料金结构；
步骤6、在去离子水中分离柔性衬底和硅衬底，制备得到所述太赫兹超材料癌症标志物蛋白传感器。


2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤1中采用CVD生长派瑞林，生长蒸发温度为175℃，裂解温度为690℃，真空管温度为135℃，腔室气压为18百帕，派瑞林C型薄膜的厚度为8-15μm。


3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤3中选用的超材料掩膜版图形为圆形劈裂环。


4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤4中的黏附层为厚度为10nm的铬，金膜厚度为100nm。


5.一种如权利要求1～4任一项所述的制备方法制备得到的太赫兹超材料癌症标志物蛋白传感器。


6.一种如权利要求5所述的太赫兹超材料癌症标志物蛋白传感器的修饰方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1、将癌症标志物蛋白抗体滴加到传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员：耿照新，方维豪，陈弘达，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11