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本发明提供一种卡盘校温装置及方法，该卡盘校温装置用于对卡盘中的第一温度传感器组进行校准；包括支架、第二温度传感器组、温控器和校温单元；卡盘包括一承载面，支架可拆卸的安装在卡盘上；第二温度传感器组设置在支架上，用于采集承载面的温度值；温控器分...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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