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在对形成于基片上的多个被检查器件检查电特性的检测器中，对被检查器件施加电压的电压施加装置，其在被赋予规定的设定条件时，设定作为过渡电压设定参数的过渡阶梯数、阶梯时间、阶梯电压，以能够形成适合于规定的设定条件的、具有多个过渡阶梯的阶梯状的过渡...
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