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本发明公开了一种基于玻璃基底的MEMS半导体式气体传感器及其制作方法。该MEMS半导体式气体传感器包括敏感测试结构以及封装结构，该封装结构包括透气盖板，透气盖板与敏感测试结构密封结合形成一气体腔室，敏感测试结构包括玻璃基底以及依次叠层设置在...
该专利属于安徽芯淮电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽芯淮电子有限公司授权不得商用。

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