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可变电阻存储器装置及其制造方法制造方法及图纸
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下载可变电阻存储器装置及其制造方法的技术资料
文档序号:23788646
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本申请提供了一种可变电阻存储器装置及其制造方法,所述方法包括:在衬底上形成存储器单元的阵列,其中,各个存储器单元包括可变电阻结构和开关元件;以及形成覆盖开关元件的侧壁的侧壁绝缘层。形成侧壁绝缘层的步骤包括:向开关元件的暴露的侧壁供应硅源的预...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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