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本发明提供了一种晶圆清洗装置及晶圆清洗方法，属于半导体技术领域。晶圆清洗装置，包括：晶圆支撑台，所述晶圆支撑台上设置有用以固定待清洗的晶圆的多个固定组件，每一所述固定组件上设置有第一磁性部件；驱动组件，用以驱动所述晶圆支撑台绕自身轴线旋转；...
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