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本发明公开了一种晶圆裂纹检查装置，包括底座和设于底座上方的滑板，所述滑板与所述底座滑动连接，使所述滑板能相对底座进行滑动，所述滑板上开设有与滑动方向一致的槽口，所述滑板上方设有回转环，所述回转环与所述滑板转动连接，使所述回转环能相对滑板进行...
该专利属于成都先进功率半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都先进功率半导体股份有限公司授权不得商用。

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